它是一种用于超高真空中的法兰连接，是一种金属静密封，可以承受高温烘烤。公称直径尺寸包括：DN16, 40, 63, 100, 160, 200，250.适用的真空度Z高达10-12 mbar.法兰密封材料通常为Viton、PTFE、无氧铜等。法兰通常为 304、316 不锈钢等。

  CF真空法兰其主要密封方式是金属密封即铜垫片密封，可以承受高温烘烤。

需要注意的是铜垫片在使用一次后密封效果会很差，如果对真空度要求较高的系统，法兰每拆卸一次，就需要更换垫片。

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